压电致动器F03

用于微观样品的聚焦光束的传感器头包含实际的干涉仪，并通过光纤与控制器连接。F03传感器头包含一个迈克尔逊干涉仪，可以与各种物镜组合，将测量激光束聚焦到微米大小的光斑。这允许以皮米分辨率测量微观目标的周期性位移。结合PICOSCALE振动仪，传感器头也可用于高分辨率共聚焦显微镜。