Vacuum-compatible阶段KDT310系列

XY 机动化的 两轴

•Vakuum:所有范围内高压/超高压10 e-8 mbar 10 e-8•马克斯•润滑液体。退火温度:100°C•孔径与90 X 90毫米X, Y 150 X 150毫米孔径的定位系统是结合从两个线性阶段设计一个精确的和重型XY阶段应用在高真空和超高真空。其概念与铁路指南和高精度球螺丝使出色的精度最优使用的安装空间。它可以很容易地结合DT155旋转阶段,导致广泛的应用程序。申请实验室精密定位领域应用,显微镜和半导体技术,研究在超高真空和在极端的紫外线辐射下,样品制备,样品扫描、样品处理、生物芯片、晶片检查,晶片对齐,相机调整、材料研究、材料分析、beamline,加速器,同步加速器