Vacuum-compatible阶段LT300系列

线性 机动化的 1-axis

•真空:所有范围内高压/超高压/ EUV 10 e-11 mbar•润滑液体10 e-8 /干10 e-11 mbar•马克斯。退火温度:120°C•洁净室类4 ISO 14644 - 1(类1请求)•很长寿命,甚至用干运行可选配置:与压电打破••可用材料选择和真空润滑适应应用程序•个人适应安装情况室•版本的洁净室ISO 14644 - 1(类1请求)•可选控制器FMC400/450纳米范围的稳定甚至高负载多达10公斤的线性阶段旨在位置加载高刚度在极端条件下,如在高真空和超高真空。配备了压电制动钳,这个定位系统达到稳定的纳米范围。应用半导体技术领域在超高真空和在极端的紫外线辐射下,晶片对齐,晶片检查,相机对齐,传感器校准,检查联系人、镜子、探测、真空室、研究、beamline仪器仪表、电子产品装配和检验、高精度扫描应用程序