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高精度的阶段KDT105系列
XY
压电
两轴
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特征
- 取向
- XY
- 类型
- 压电
- 轴数
- 两轴
- 其他特征
- 高精度，紧凑，真空兼容，用于显微镜，高速，交叉辊
- 中风
-
50毫米(1.969英寸)
- 速度
-
2.5 mm/s, 25 mm/s
描述
具有孔径和交叉滚子轴承的XY舞台为高真空，超高真空和极端紫外线辐射下的应用提供高动态和速度。与其大小相比，它可以实现非常小的步长。它配备了压电电机，在纳米范围内实现了最小的步进，并且几乎无法实现位置稳定性。凭借纳米运动，它实现了非常高的动态以及高速度，并具有在微米范围内精度的最大使用寿命。它可以很容易地与MT105升降台组合，从而提供了许多应用可能性。应用领域:实验室应用的精密定位、显微镜和半导体技术、超高真空和极紫外辐射下的研究、样品制备、样品扫描、样品处理、生物芯片、晶圆检测、晶圆对准、相机调整、材料研究、材料分析、光束线、加速器、同步加速器
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