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旋片真空泵LR /人力资源/ UR系列
干
单级
氦
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特征
- 技术
- 旋转叶片
- 润滑
- 干
- 级数
- 单级
- 应用程序
- 氦
- 流量
-
最小值。62 m³/h (2,189.51 ft³/h)
马克斯。701 m³/h (24,755.58 ft³/h)
描述
干燥真空泵LR/HR/UR系列ULVAC独特的方法利用干泵体内产生的热量，使LR/HR/UR系列即使在最严格的过程中也能执行。ULVAC的设计重点是在所有泵级中保持极其均匀的高温，使该系列泵最适合CVD和蚀刻应用。ULVAC的ECO-SHOCK可添加到LR泵中，可在任何轻工艺(包括抽气或氮气)中额外节省高达70%的能源。低温泵:LR系列泵设计用于负载锁或PVD过程。ULVAC独特的铝设计使得整个泵体的温度分布非常均匀:HR aeries泵专为CVD和蚀刻工艺而设计。ULVAC UR系列泵专为需要加热泵，加热气体管路和/或加热排气管路的应用而设计。出色的氦气泵能力:屏蔽电机，安全性和易于维护。优异的耐腐蚀性:内部部件经过特殊处理，表面硬度高，耐腐蚀性强。这可以防止暴露在腐蚀性气体中时泵内部部件的磨损和腐蚀。通讯功能:可导出泵的警告、告警等数据。广泛的泵控制可用。可提供CE标志:可根据要求提供CE标志。
目录
干式真空泵LR/HR/UR系列
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