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干式真空泵中华人民共和国系列
单级
水
机械增压
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特征
- 润滑
- 干
- 级数
- 单级
- 应用程序
- 水
- 其他特征
- 机械增压
- 流量
-
马克斯。1800 m³/h (63566.4 ft³/h)
最小值。280m³/h (9888.11 ft³/h)
- 极限真空
-
12mbar, 13mbar (0.17 psi)
描述
机械增压泵PRC系列机械增压泵与干式真空泵、油旋转真空泵或水封真空泵配合使用，可使泵的抽速在10kPa ~ 0.1 Pa范围内提高，而粗泵的抽速下降。PRC系列是专为半导体和液晶显示工艺，特别要求清洁。可选择常压启动方式。无油泵壳内无油，即使在排出水蒸气或溶剂蒸气时，性能也稳定。采用屏蔽式电机可以避免在大气和真空之间使用机械密封。它可以在清洁的环境中使用，没有漏油的问题。优异的耐腐蚀表面处理阳极氧化涂层表面硬度和耐腐蚀性的主要部件，防止划伤和腐蚀的泵内。可选择非表面处理。短疏散型常压启动型(可选:变频)由于泵与粗泵同时启动，与标准型相比，可缩短泵送时间。
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