涡轮分子的真空泵UTM-FH, FW系列

润滑 单级 防腐

丰富的变化从350 l / s到世界上最大的6300 l / s(数字磁轴承控制类型)。维护稳定的泵送性能对背压的变化(FH系列)。可选的内部加热系统控制转子温度和减少副反应的附着力副产品(FW系列)。爱游戏ayx守望先锋优秀的防腐蚀表面处理(不含3303跳频和6300 fh)。可选的特殊表面处理(如镀镍+阳离子电沉积,沉积膜,铝阳极化)是可用的。挂载在所有的方向。变速系统可以改变抽运速率范围从25%到100%。没有限制将电源和泵的主要单位改变电缆长度,因为使用耦合自由系统和调优系统。自我发电通过再生能源用于备用电源使用电池免费系统断电。麻烦更换电池是不必要的。 Built-in monitoring/self-diagnostic and communication functions enable to configure centralized monitoring system. Safety design with fracture energy absorption construction can reduce damage on vacuum system when trouble happened with the pumps. High durability and high reliability have been realized by experiments such as air rushing-in testing, various touching down testing, forced destruction testing for rotor and foreign material drop testing (Si wafer fall).