UTM系列是一种全叶片型涡轮分子泵,它携带一个枢轴轴承(下侧)和一个磁轴承(上侧)。采用枢轴轴承减少了高速旋转时的机械接触。此外,还实现了低振动和高压缩比。上部采用磁轴承,下部采用枢轴轴承,消除了高速旋转时的机械接触。因此,无需更换轴承和换油,实现了延长轴承寿命。通过原叶片设计的精细动平衡转子和高效轴承,实现了H2、He等低分子量气体的高速旋转和高压缩比的进口性能。采用轴心轴承和氟油(饱和蒸气压化学稳定且低的油),实现了无无限油接近零的环境。实现清洁,超高真空是可能的。采用精密动平衡转子和高效轴承,实现低噪声、低振动。主要泵送系统用于分析设备,研究和开发设备,以及一个实验装置。 Main pumping system for low molecule gas, evacuation such as H2 and He. Main pumping systems for analysis equipment and evaluation equipment, which are vibration sensitive