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扩散真空泵ULK系列
润滑 单级

扩散真空泵
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特征

技术
扩散
润滑
润滑
级数
单级

描述

ULVAC的ULK系列扩散泵不仅具有优越的性能，而且具有极低的运行成本。使用软管法兰(ULK-04A和06A上的排气法兰除外)泵易于清洗(部件易于拆卸)。带有停止工作流体流向辅助泵的机构。

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