- 大气压附近的高泵浦速度大大减少了泵的停机时间。- 内置的生态冲击技术可大大减少清洁应用的功耗。- 内置的消音器达到61dB(a)或更低的噪声水平 - 在4型型号中可用,在120〜1200m3/h清洁过程中泵送速度(“ C-type”):用于涉及诸如天气之类的清洁过程空气和N2(LS *** A -C) - TMP靠背泵等 - 负载锁室 - 层压室 - 蒸气沉积 - 溅射光过程(“ L型”):用于涉及蒸汽和其他困难气体的光过程(LS **)*a -l) - 一般工业用途 - 艾希 - 冷冻干燥 - 真空干燥