天然气输送系统GSDS-Series

Veeco的天然气来源交付系统(德牧)主要是用于控制操作MBE Veeco气体的来源。它们也可以被用于精确控制气体和联动装置,气体类型的范围和监控流程。这些设备特性莫莉®ECS1增长控制软件系统,可以快速集成到退出系统。气体源输送系统中可用3模型配置,专门设计和制造符合客户要求,应用需求和预算。所有包包括手动为每个电路燃气管道关闭阀,气体过滤净化器,质量流量控制器。气动run-and-vent-valves也提供。